定量化成像测量
Quantitative Imaging Metrology
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技术指标
简介
短波红外成像光谱辐射计
(900~2500nm)

(1)光谱范围:1000~2500nm

(2)光谱分辨率:≤8nm

(3)视场角:38°

(4)波段数:256

(5)空间像素:640

(6)像元大小:15μm×15μm

(7)量化精度:不小于12bit

(8)峰值SNR:≥200:1

紫外成像光谱辐射计
(200~400nm)

(1)光谱范围:200~400nm

(2)光谱分辨力:优于0.5nm

(3)视场角:7.6°×7.6°

(4)波长定标不确定度:优于0.5nm

(5)紫外辐射定标不确定度:8%

短波红外成像辐射计
(900~2500nm)

(1)工作谱段:900nm-2500nm;

(2)狭缝尺寸:9.6mm×0.02mm;

(3)光栅类型:凸面光栅;

(4)光栅刻线密度:80lp/mm;

(5)光栅级次:1;

(6)空间方向像元数:320;

(7)光谱方向像元数:240;

(8)探测器像元大小:30um

(9)系统F数:2;

(10)光谱分辨率:20nm

日盲紫外成像辐射计
(200~280nm)

(1)光谱范围:200~1000nm

(2)像素数:512×512

(3)像元:16μm

(4)制冷温度:-80℃

(5)定标精度:不确定度8%

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